Grundlagen Silizium Halbleitertechnologie (Exercise)Lecturer (assistant/s)Markus Becherer" on page "EI0619 UE Grundlagen der Silizium Halbleitertechnologie - Tutorial WS16-17

Silicon Semiconductor Technology (Practical)

Lecturer (assistant)
Number240917101
TypeExercise
Duration1 SWS
TermWintersemester 2016/17
Language of instructionGerman
Position within curriculaSee TUMonline
DatesSee TUMonline

Dates

Course criteria & registration

Description

Dieser Kurs lehrt die Grundlagen der modernen Chipherstellung. Es werden die physikalischen und chemischen Grundlagen vermittelt, um den gesamten technologischen Prozess verstehen zu können. Angefangen bei der Herstellung von Siliziumwafern, über die Dünnschichttechnologie bis hin zu Dotiertechniken, Lithographie und Spezialstrukturen, werden die einzelnen Prozessschritte ausführlich behandelt.

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